感光芯片 彩色200萬像素 照明光源 同軸光、體式光 測量鏡頭 5X /10X/20X/50X（選配） 數據接ロ USB V3.0 儀器尺寸 300X123X220mm(長寬高) 儀器重量 主機重量約1600克 深度量程 3MM 測量精度 XY:+/-0.5um Z:+/-1um 滾筒支架 球形結構 版輥直徑 100MM-500MM 移動平臺 XYMAX移動范圍10MM 圖像格式 BMP 圖像尺寸 1280X720像素 Ž軸精度 200納米|光柵
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