中圖白光干涉儀是以白光干涉技術原理，對各種精密器件表面進行納米級測量的儀器，通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌，專用于精密零部件之重點部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式光學測量儀器。能達到微型范圍內重點部位的納米級粗糙度、輪廓等參數的測量。
產品功能
1）具備各種類型樣品表面微觀形貌的3D輪廓重建與測量功能；
2）具備表面粗糙度和微觀輪廓的檢測功能，粗糙度范圍涵蓋0.1nm到數十微米的級別；
3）具備校平、去除形狀、去噪、濾波等數據處理功能；
4）具備粗糙度分析、輪廓分析、結構分析、功能分析等表面參數分析功能；
5）具備自動對焦、自動測量、自動多區域測量、自動拼接測量等自動化功能；
6）具備一鍵分析、多文件分析等快速、批量分析功能；
7）具備word、excel等數據報表導出功能。
中圖白光干涉儀可以達到納米級的檢測精度，并快速獲得被測工件表面三維形貌和數據。可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的微觀幾何輪廓、粗糙度、平整度、曲率等，提供依據ISO/ASME/EUR/GBT四大國內外標準共計300余種2D、3D參數作為評價標準。
