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微型導軌在半導體制造中有哪些高精密應用場景?
東莞市科士威傳動科技有限公司
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微型導軌在半導體制造中用于晶圓對準和定位系統,確保晶圓在光刻、蝕刻等工藝中精確移動。其高精度、高剛性、低摩擦和緊湊設計等特性,使其成為半導體設備實現微米級運動控制的核心部件。

光刻機:在光刻工藝中,微型導軌支撐并引導掩模版和晶圓臺的精密移動,確保光線在硅片上投射的電路圖案誤差小于5納米。

晶圓傳輸系統:在清洗、刻蝕、沉積等工藝間,微型導軌引導晶圓平穩、準確地移動,避免因振動或偏移導致晶圓破損或污染。

檢測設備:在芯片測試階段,微型導軌驅動探針臺以亞微米級精度移動,確保測試探針準確接觸芯片焊盤,檢測電性能參數。

封裝設備:在倒裝焊、引線鍵合等封裝工藝中,微型導軌引導芯片和基板移動,實現微米級對齊,確保電氣連接可靠性,實現芯片與基板的“精準對接”

刻蝕與沉積設備:支撐刻蝕頭或沉積頭在晶圓表面掃描,通過精密運動控制實現納米級薄膜厚度的均勻性,是工藝均勻性的關鍵者。

微型導軌在半導體制造中要求極高,其技術突破直接關聯著芯片性能的提升與制造成本的降低。隨著5G、AI和量子計算等領域的快速發展,微型導軌將繼續在納米級精度和超高速運動控制領域發揮核心作用,推動半導體產業邁向更高臺階。有其他的疑問或者選購需求歡迎聯系我們科士威傳動咨詢!


 

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