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雷尼紹激光干涉儀是一種高精度的光學測量和控制設備，可以測量長度、角度、平面度等各種參數(shù)。它采用激光光源和干涉技術，具有高靈敏度、高精度、高分辨率等優(yōu)點。雷尼紹激光干涉儀具有廣泛的應用領域，主要可以用于材料研究、生物醫(yī)學、光學測量等各個領域。
雷尼紹激光干涉儀的原理
雷尼紹激光干涉儀是由激光器、分束器、參考光路、測量光路和接收器等部分組成。
原理：激光器發(fā)出的光經過分束器分為兩個光束，一個光束通過參考光路反射鏡反射回來，另一個光束通過測量光路經過被測物體后再反射回來，兩個光束在接收器處發(fā)生干涉，形成干涉條紋。
在沒有被測物體時，參考光路和測量光路光程相等，兩個光束在接收器處干涉形成明紋。當分別給參考光路和測量光路施加物體后，如果物體引起光程變化，則兩個光束在接收器處形成暗紋。通過觀察干涉條紋的變化情況，就可測量出物體所引起的光程變化，從而得到物體的形變、振動、膨脹、收縮等特性的參數(shù)。
雷尼紹激光干涉儀的優(yōu)勢
1、精度高。由于采用了激光干涉技術，雷尼紹激光干涉儀可以達到非常高的精度，甚至可以實現(xiàn)亞納米級別的測量。
2、對測量物體沒有限制。雷尼紹激光干涉儀的測量范圍廣泛，可以對不同類型和大小的物體進行測量，不會受到測量物體的形狀、大小、材料等限制。
3、測量速度快。與接觸式測量方法相比，雷尼紹激光干涉儀具有非常快的測量速度，在短時間內就可以完成對物體參數(shù)的測量。
4、噪聲低。雷尼紹激光干涉儀的干涉信號受噪聲影響較小，可以在較差的環(huán)境下進行精確測量。
總之，雷尼紹激光干涉儀是一種利用激光干涉原理實現(xiàn)高精度測量的儀器。具有精度高，而且具有快速、無損、不受限制、噪聲低等優(yōu)點，被廣泛應用于各種高精度測量和相關研究領域。
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