JKZC-DH系列綜合型探針臺
|產品概要
JKZC-DH系列綜合型探針臺是一款綜合型晶圓測試探針臺，可完成12英寸晶圓的電學測試。此系列探針臺設備配 置十分豐富，不僅具備龍門架結構和卡盤的升降功能，還具備業(yè)內領先的卡盤快速移動技術，可快速定位 樣品位置,提高測試效率。另外針座平臺具備三段式升降功能,在不失焦的情況下可以使樣品和探針做到 快速分離，同時也方便探針卡的使用。此設備在大型實驗室或者半導體工廠得到廣泛運用，配合對應的儀器儀表，可以完成集成電路/芯片/MEMS器件/PCB元器件/材料器件的IV/CV特性測試/管芯晶圓/LED/LC- D/太陽能電池行業(yè)的測試。此系列探針臺可以實現(xiàn)1μm以上的Pad電極測試,也可以實現(xiàn)搭載探針卡的測 試。
|技術特點
•卡盤可360度快速移動，便于快速定位樣品位置,提高測試效率；
•三段式可升降探針座平臺，在不失焦的情況下可以使樣品和探針做到快速分離；
•加厚級剛性金屬框架結構設計,領先的內部防震技術，結構性能穩(wěn)定。
