簡介
Simco-Ion In-Line fusION 是一款緊湊型離子產生器,能提供強大的靜電控制,適用在半導體,平板顯示,醫療器件的精密制程和微細環境內,在有限的空間處理局部但要輸送較遠的區域靜電問題。In-Line fusION 的安裝,操作和維護十分簡易,只須安放靠近工作區,連接電源,即可開始工作,消除區內的靜電。專利自動平衡技術,無需調整或校準。這個驚人的細小緊湊裝置使用鎢金屬靜電針和提供警報輸出,可集成設備系統作遠端監控。利用設備電源可以多臺串連工作Simco-Ion 標配的 24 VDC 電源適配器,可串聯連接 5 臺。
特點
透過長管把離子輸送
緊湊的設計
電離狀態指示燈和遠端報警輸出
單臺電源可供應多臺 fusION 離子產生器
選配風刀,風環和氮氣 (N2) 套件
優點
方便處理較為難以碰觸的目標地方
可裝入制程設備內有限的緊閉空間
標準功能,方便用戶操作
同一電源最多可串聯 5 臺 fusION 離子產生器,非常適合機內多個位置的靜電防護
In-Line fusION 符合緊湊環境和潔凈要求
技術參數
輸入電壓:24 VDC / 0.075 A
消散時間:<1秒@1000 - 100V(30 cm 延伸氣管,2 bar 氣壓)
離子平衡:< ±50 V
工作模式:穩態直流
靜電針材質:鎢