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作為第一家國產機器人實現出口的企業，機器人(300024.SZ)一直在工業自動化、數字化上承擔著引領國產自動化設備及系統創新的角色。

8月19日，機器人公布擬募資18.03億元主要用于建設半導體領域半導體設備及自動化項目，作為國內唯一一家真空機械手的供應商，去年機器人真空機械手已批量應用于北方華創、中科院微電子研究所等企業和機構，有望在國內全面推廣。

機器人2009年上市，通過融資不斷擴大工業機器人、特種機器人、高端裝備、數字化工廠等領域產業規模，此次募資將以自身自動化設備優勢來實現半導體國產化的替代。

擬募資18億新建半導體設備

機器人此次擬向特定對象發行股票的募集資金總額不超過18.03億元用于IC真空機械手及集束型設備項目、半導體自動物料搬運系統項目、半導體物料管理控制系統項目以及補充流動資金。

此前機器人已研制了系列化潔凈真空機器人產品，包括大氣機械手系列產品(潔凈度達到 Class1)、集成電路裝備真空機械手系列產品(真空度達到最高 1×10-6 Pa)。真空直驅機器人打破國外壟斷，可以實現直接替代；自動物料搬運系統(AMHS)系統設備主要包括潔凈存儲系統(Stocker)、 潔凈軌道系統、空中無人搬運車(OHT)等，公示可以為半導體工廠提供整套自動物料搬運系統；而公司承接的廣州超視堺Mask搬送系統項目，其中也包含ACS系統(類似MCS的系統，規模要比MCS系統規模小)的子訂單，具有先天優勢。

上述三個項目建成后，年預計可實現年均營業收入約10.05億元、11.90億元、1.8億元，合計達到23.75億元。而去年公司全年營收27.45億元，此次擴產項目若達成目標將增加營收85%。

機器人將半導體裝備業務確定為三大業務板塊之一，2018年5月，公司集中整合資源成立半導體裝備事業部，完善在集成電路設備自動化與自動物料搬運系統(AMHS)產業的布局，潔凈真空機器人、潔凈自動化裝備、自動物料搬運系統(AMHS)是公司自主研發的面向集成電路行業高端的成套裝備，半導體物料管理控制系統(MCS)產業化是公司拓展的新業務。

目前機器人研發的真空機械手已批量應用于北方華創、中科院微電子研究所等企業。集束型設備行業應用涵蓋半導體 CMP 清洗設備、半導體刻蝕設備、半導體涂膠設備等，且實現小批量示范應用；半導體自動搬運系統(AMHS)已經實現在上海集成電路研發中心生產線上的應用，并成功應用于Sandisk、賽意法等半導體芯片加工廠，面向面板制造廠開發的掩模版自動物料搬運系統，已經在華星光電T1、T7工廠及夏普廣州廠實現成熟應用。

2012年以來，國內半導體設備需求迅猛增長，中國是全球第二大半導體設備市場，2018年達到131.10億美元，但國產設備自給率很低，僅為13%左右。未來即便核心半導體設備依然依靠進口，半導體設備國產化空間仍然巨大。并且半導體工廠自動化對工廠的稼動率非常重要，全球該市場的年采購額在20億美金左右，由于國外對中國半導體產業的封鎖，國內半導體產業對于自動物料搬運系統(AMHS)需求迫切。

而機器人是國內唯一一家真空機械手的供應商，而公司自主研發的面向半導體行業的高端裝備自動物料搬運系統(AMHS)已經形成了獨立產品線，可以逐步實現國產化替代。

大力研發實現半導體領域多項突破

機器人從事的主要業務為機器人及數字化工廠解決方案，主營業務包括機器人業務、數字化工廠業務、工業軟件與控制平臺、半導體裝備業務。

近年來機器人連續承擔國家863重點項目、十二五智能制造發展專項項目、十二五國家科技支撐計劃課題、十三五國家重點研發計劃、科技部02專項項目、工信部研發項目、發改委研發項目等。

僅去年機器人研發投入4.58億元，同比增長134.91%，占到了營收16.67%，截至2019年底，公司合計擁有109項軟件著作權和有效專利377項，其中發明專利193件，實用新型專利103件。

去年機器人在半導體領域實現了多項突破。去年真空機械手產品需求增加，公司潔凈機器人系列產品持續批量銷售，搶占國內市場的主要份額，公司EFEM部分型號產品已獲得批量訂單，標志公司在高端半導體刻蝕機及其工藝技術領域開始實現國產化批量供應。公司8寸和12寸真空平臺已經交付客戶進行驗證；憑借自主研制的國內首套柔性OLED潔凈機器人成功進入高端柔性屏幕生產線，且于年底前完成首臺交付。

去年機器人物流與倉儲自動化成套裝備、工業機器人營收分別為10.60億元、9.72億元，分別同比增長9.28%、3.92%，不過由于自動化裝配與檢測生產線及系統集成有所下滑，公司營收下降了11.29%。

根據中投產業研究院發布的《2020-2024 年中國機器人產業投資分析及前景預測報告》顯示，2019年度全國工業機器人累計產量為18.69萬套，同比降低了6.1%。而2019年上半年自主品牌工業機器人累計銷售1.9萬臺，同比下降13.6%。

機器人作為目前國內唯一批量生產潔凈機器人及自動化設備的供應商，在國內半導體自動化領域有研發優勢，在目前半導體國產化進程中，公司產品或有望在國內全面推廣。