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名　　稱：
柔性 MOCVD 系統采用基于 PC 的 控制技術打造模塊化設備
大　　小：
14.67MB
上傳時間：
2021/1/26 16:16:20
Agnitron 利用 Agilis 兩用機開發了一套通過金屬有機物化學氣相淀積（MOCVD）技術制備半導體材料氧化鎵的系統。此外，該系統還能夠在需要時切換為其它材料。Agnitron 采用倍福基于 PC 的控制技術，確保滿足用戶在研發中小型生產設備時所需的高可靠性和靈活的可擴展性。
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